真空泵最大真空度计算方法

真空泵最大真空度计算需考虑泵的类型与工作条件。旋片泵极限真空度可达10^-3 Pa，分子泵能达到10^-8 Pa级别。计算公式为P极限 = P环境 P抽气速率，其中P环境为大气压约101325 Pa，P抽气速率由泵的抽速决定。油封机械泵实际真空度受油品质量影响，干泵则无此限制。系统漏率低于10^-6 Pa·m³/s时，真空度可稳定在10^-4 Pa范围。

真空度测量需校准真空计，热偶计量程10^2至10^-1 Pa，电离计覆盖10^-1至10^-5 Pa。计算系统真空度还需考虑管道流导，流导C与管道直径D成正比，C≈12.1D³ (L/s)。温度变化影响气体分子运动速度，20°C时空气分子平均速度约464 m/s。真空容器体积V与抽气时间t的关系为t = 2.3V/S，其中S为泵的有效抽速。