时间:09-17人气:20作者:帅到隔壁村
光刻机是芯片制造的核心设备,负责将电路图案精确转移到硅片上。一台先进光刻机包含光源系统、掩模台和投影镜头,能实现纳米级精度。荷兰ASML的EUV光刻机使用13.5纳米极紫外光,每小时可处理200片晶圆。这些设备价值超过1.5亿美元,是现代电子产业的基础。没有光刻机,智能手机、电脑和医疗设备中的精密芯片都无法生产。
光刻机工作原理类似高科技投影仪,但精度提高1000倍。紫外光通过掩模版照射涂有光刻胶的晶圆,经过显影形成微细电路。台积电的5纳米工艺需要使用多重曝光技术,每片晶圆要经历20多道光刻步骤。光刻技术进步直接推动芯片集成度提升,从1970年代的1000个晶体管到现代芯片的100亿个,完全依赖光刻机精度的不断提高。
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