中国生产光刻机的企业

中国光刻机领域有三大领军企业。上海微电子装备(SMEE)研发的光刻机已达到90纳米工艺水平，广泛应用于国内芯片制造企业。华卓精科专注于光刻机双工件台系统，技术填补国内空白。北京北方华创微电子装备公司生产的光刻机覆盖从紫外到深紫外波段，满足不同制程需求。这些企业通过自主创新，逐步打破国外技术垄断。

光刻机产业链上下游企业协同发展。福晶科技提供光刻机核心光学元件，产品精度达到纳米级。武汉长江存储与中芯国际等芯片厂商与光刻机企业深度合作，加速技术迭代。中科院光电技术研究所承担多项国家重大科技专项，突破高分辨率光刻技术。国内高校如清华大学、浙江大学也积极参与光刻机研发，形成产学研一体化创新体系。