光刻机专利在哪个国家

光刻机专利主要集中在荷兰，阿斯麦公司(ASML)掌握着全球最先进的光刻技术。这家企业拥有超过30,000项专利，涵盖EUV光刻机的核心技术。德国蔡司公司提供关键的光学系统，美国应用材料公司贡献部分材料科学专利。日本尼康和东京电子也持有一定数量的光刻相关专利，但技术先进程度落后于ASML。全球光刻机专利分布极不均衡，荷兰一家企业就占据了高端市场90%以上的份额。

光刻机专利保护涉及多国法律体系。美国专利商标局审查约15%的光刻相关申请，中国国家知识产权局处理约8%的专利请求。欧洲专利局覆盖德国、法国等20多个国家，统一审查标准。韩国知识产权局和日本特许厅分别管理本国约5%的光刻专利。专利交叉授权形成复杂网络，ASML与全球300多家企业有技术合作协议，确保产业链各环节专利兼容性。