电子探针分析仪操作方法

电子探针分析仪操作时需先制备样品，表面必须平整清洁，导电性差的样品需喷碳处理。开机后调整电子束参数，加速电压选15-20kV，束流控制在10-50nA。校准仪器使用标准样品，确保元素分析精度达到要求。放置样品时要对准工作台中心，调焦使图像清晰。选择测试区域后，设置测量时间一般为30-60秒，收集X射线信号进行元素定量分析。数据采集完成后，使用专用软件处理结果，生成元素分布图和定量报告。

日常维护对仪器寿命至关重要。每周检查真空系统，保持真空度在10^-5 Pa级别。定期清洁电子枪和光路系统，防止灰尘影响成像质量。校准工作每月进行一次，使用标准样品验证仪器准确性。环境温度控制在20±2℃，湿度保持在40-60%。更换X射线探测器窗口时需戴手套，避免污染。操作结束后关闭电子束，待冷却系统运行30分钟后再关机，延长灯丝使用寿命。