日本有没有光刻机

日本确实拥有光刻机技术，但与荷兰ASML的高端产品相比存在差距。东京电子、尼康和佳能是日本三大光刻机制造商，尼康的KrF和ArF光刻机在成熟制程领域表现不错。2019年，日本对韩出口管制曾影响韩国半导体产业，显示日本在特定光刻技术上的影响力。日本企业在EUV光刻机研发上投入巨大，但尚未突破7纳米以下工艺。

日本光刻机产业历史悠久，1980年代曾占据全球主导地位。尼康的NSR系列光刻机一度是市场主流，佳能的FPA-6000系列也广泛应用于中端市场。日本企业专注于特定领域，如电子束光刻机在科研领域有独特优势。日本政府通过"半导体数字产业战略"持续投入资金支持光刻技术研发，2022年拨款7700亿日元加强本土半导体产业链建设，显示其对光刻机技术的重视程度。