油扩散泵的启动压强是多少

油扩散泵的启动压强一般在10^-2到10^-3帕斯卡范围内。这个数值取决于泵的设计和型号，小型泵可能需要更高的启动压强，而大型高性能泵可以在更低压强下启动。实际应用中，系统需要先通过前级泵将压力降至这个范围，扩散泵才能有效工作。真空镀膜设备、质谱仪等高精度仪器对启动压强要求严格，必须确保达到这一标准才能获得理想真空度。

油扩散泵的工作性能与启动压强密切相关，低于10^-3帕时泵的抽速会显著下降。工业生产中，常见做法是使用机械泵作为前级泵，将系统压力降至10^-2帕左右再启动扩散泵。半导体制造、空间模拟等高端应用领域，系统压力需精确控制在10^-3帕以下，以确保扩散泵稳定运行。不同厂家生产的扩散泵可能有略微不同的启动压强要求，具体数值应参考设备说明书。