时间:09-17人气:15作者:一挽青丝
半导体生产环境必须穿无尘服。无尘服能防止人体产生微粒污染,头发、皮肤碎屑和普通衣物纤维都会影响芯片良率。一条无尘服包含帽子、口罩、连体服和鞋套,过滤效率达到99%。晶圆厂的无尘车间等级从10级到10000级不等,10级车间每立方英尺允许的颗粒数不超过10个。英特尔、台积电等工厂的无尘服每天更换,工作人员进入车间前要经过风淋室,吹掉附着在服装表面的微粒。
无尘服材质特殊,通常由防静电聚酯纤维制成,能消除人体静电。半导体制造过程中,静电放电会瞬间击穿微米级的电路结构,造成不可逆的损失。一条无尘服价格约300元,使用寿命约3个月。中芯国际的生产线上,工作人员每小时更换一次手套,防止汗液和油脂污染晶圆。先进制程如7纳米以下的生产,对无尘服的要求更加严格,连呼吸动作都要经过特殊过滤,确保呼出气体不接触晶圆表面。
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