扩散泵多少度可以关闭了

扩散泵工作温度达到150-200摄氏度时可以安全关闭。实际操作中，泵体温度降至80-100摄氏度时最为理想。高温关闭会导致泵油裂变，缩短使用寿命。真空镀膜设备一般在工艺结束后，让泵继续运行30-60分钟，待温度自然下降再关闭。实验室用的扩散泵通常配有温度传感器，显示实时温度，便于判断最佳关闭时机。

关闭扩散泵前，确认真空度达到10^-3 Pa以下。系统冷却期间，真空计应保持工作状态，监测压力变化。工业生产线上，扩散泵往往与机械泵串联使用，关闭顺序很重要。先关闭扩散泵加热电源，等待泵体冷却至室温，再关闭机械泵。这一流程能有效防止泵油倒流，保护真空系统完整性。