时间:09-16人气:11作者:花暮汐
真空泵能产生的压力极限取决于类型和技术水平。工业级分子泵可达到10^-9毫巴压力,相当于地球大气压的十亿分之一。极端情况下,特殊设计的低温泵可实现10^-12毫巴真空,接近宇宙空间的真空度。实验室使用的涡轮分子泵日常运行在10^-7毫巴范围,足够支持大多数精密实验需求。半导体制造中使用的干式机械泵稳定工作在10^-2毫巴级别,满足工艺要求。
真空压力值也受系统密封性和材料影响。不锈钢真空腔体配合金属密封圈可维持10^-10毫巴超真空环境。玻璃系统配合氟橡胶密封圈通常保持在10^-3毫巴水平。航天模拟器中的真空室能达到10^-6毫巴,模拟太空环境。日常使用的实验室旋转蒸发泵产生约10^-1毫巴真空,适合一般蒸馏操作。
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