真空传感器是什么东西

真空传感器是测量系统内气体压力低于大气压的装置。这类设备广泛应用于半导体制造、实验室真空系统和工业真空处理设备中。常见类型包括热电偶真空计、皮拉尼真空计和电容式真空传感器。热电偶真空计通过测量热丝温度变化确定压力，皮拉尼真空计利用电阻随压力变化原理，电容式真空传感器则通过测量薄膜位移检测压力。这些传感器量程覆盖10^-5帕至10^5帕，满足不同应用需求。

真空传感器在现代科技中扮演关键角色。航天器使用高精度真空监测系统确保太空环境模拟准确。医疗设备如质谱仪依赖真空传感器维持分析所需低压环境。薄膜沉积工艺需要精确控制真空度，传感器实时反馈数据保证涂层质量。包装行业应用真空传感器检测食品包装密封性，延长保质期。这些设备提供可靠数据，保障各类真空系统安全高效运行。