sem是什么分析仪器

SEM是扫描电子显微镜，一种高分辨率成像仪器。它利用聚焦电子束扫描样品表面，通过检测二次电子和背散射电子信号生成三维立体图像。SEM放大倍数范围广，从20倍到30万倍可调，能观察纳米级细节。配备能谱仪后，可同时进行元素成分分析，检测周期表从硼到铀的元素。样品制备相对简单，金属、陶瓷、生物材料等多种样品都能观察，广泛应用于材料科学、地质研究和工业质量控制等领域。

SEM工作原理涉及电子光学系统、真空系统和信号检测系统三部分。电子枪发射的电子经电磁透镜聚焦成细束，在样品表面扫描。入射电子与样品相互作用产生多种信号，包括二次电子、背散射电子和特征X射线。这些信号被相应探测器接收转换成电信号，最终在显示器上形成图像。SEM分辨率可达0.4纳米，景深比光学显微镜大300倍，特别适合观察粗糙表面和断口形貌，是现代科研和工业生产中不可或缺的分析工具。