不同等级无尘室标准是什么

时间:09-17人气:22作者:紫烟追梦

无尘室标准按ISO 14644-1分为9个等级,数字越小洁净度越高。ISO Class 1级每立方米允许最多10个0.1微米颗粒,相当于太空实验室环境。Class 5级允许每立方米最多1000个0.1微米颗粒,制药行业广泛采用。Class 7级允许每立方米最多352,000个0.5微米颗粒,电子元件组装车间常见。Class 9级允许每立方米最多35,200,000个0.5微米颗粒,普通实验室环境即可达到。

无尘室控制参数包括温度、湿度、压差和气流。温度控制在20-24摄氏度,湿度维持在40-60%。压差梯度5-15帕斯卡,防止污染进入。单向气流速度0.2-0.5米/秒,确保颗粒排出。换气次数每小时10-600次不等,Class 5级需400次以上。噪音控制在65分贝以下,照明度300-500勒克斯,人员进入需通过风淋室去除表面颗粒。

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