9纳米光刻机是哪个公司生产

ASML公司生产9纳米光刻机。这家荷兰企业拥有全球最先进的光刻技术，其EUV光刻机能够制造7纳米及以下制程芯片。ASML的设备包括TWINSCAN系列，如NXE:3600D型号，支持高数值孔径系统，精度达到原子级别。英特尔、台积电、三星等芯片制造商都依赖ASML的设备生产先进芯片。ASML每年投入数十亿欧元研发，保持技术领先地位。

中国上海微电子装备(SMEE)也在研发纳米级光刻机。SMEE的SSA800/10W型号光刻机已实现28纳米制程，正在向更先进技术突破。中国"02专项"支持国产光刻机发展，目标是实现14纳米以下制程。SMEE的设备主要用于国内半导体企业，如中芯国际和华虹宏半导体，减少对进口设备的依赖。国产光刻机技术进步迅速，部分性能指标已接近国际水平。