多晶硅的制造过程

多晶硅制造过程分为三个主要步骤。石英砂在电弧炉中与碳还原剂混合加热至1800℃，形成冶金级硅。纯度提升通过西门子法实现，硅气化后与氢气反应生成三氯氢硅，经精馏提纯。最后，三氯氢硅在1100℃硅芯上热分解沉积，形成高纯度多晶硅棒，纯度可达99.9999%。整个过程需要严格控温控压，确保产品质量稳定。

多晶硅生产依赖先进设备与精确工艺控制。还原炉采用多对棒设计，每炉可同时处理数十根硅棒。冷却系统采用水冷技术，防止硅棒过热变形。尾气处理装置回收未反应气体，循环利用率达80%以上。切割环节使用金刚石线锯，切片厚度仅0.1毫米。整个生产线实现自动化控制，减少人为误差，提高生产效率。