中国能造出光刻机吗

时间:09-18人气:24作者:秋千易

中国完全有能力制造光刻机。上海微电子已成功研发90纳米光刻机,中科院也推出了65纳米光刻样机。光刻机由超过10万个精密零件组成,中国在光学系统、精密机械和控制系统领域积累了丰富经验。华为、中芯国际等企业投入数百亿元研发资金,培养了数万名专业人才。国内企业已能生产光源系统、工件台等核心部件,光刻机制造的技术壁垒正在被逐一突破。

光刻机制造需要完整产业链支持。中国拥有全球最完整的工业体系,38个工业大类、191个中类、525个小类全覆盖。江苏、浙江、广东等地形成了精密加工产业集群,能提供0.1微米精度的零部件。国家集成电路产业基金投入超过3000亿元,建设了20多个光刻机相关实验室。国内高校每年培养数万名工程师,光刻机研发团队规模已达万人级别。完整产业链支撑下,中国光刻机制造能力将持续提升。

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