麒麟芯片是什么光刻机做的

麒麟芯片采用台积电7纳米工艺制造，使用ASML的EUV光刻机完成关键步骤。这款荷兰生产的极紫外光刻设备能处理7纳米以下制程，精度达到原子级别。台积电拥有5台EUV光刻机，专门用于生产高端芯片。麒麟芯片的晶体管密度每平方毫米超过1亿个，这种精密工艺需要EUV设备多次曝光才能实现。华为Mate 60系列搭载的麒麟9000S芯片就是这种技术的产物。

麒麟芯片制造还依赖DUV光刻机的多重曝光技术。ASML的深紫外光刻设备通过4次曝光也能实现7纳米工艺，虽然成本更高。台积电使用这些设备生产麒麟芯片的中间层和连接部分。这种混合工艺方案在EUV产能有限时尤为重要。每块麒麟芯片经过超过1000道工序，其中光刻环节占比约20%。这种复杂制造过程体现了半导体工业的精密协作，多家设备供应商共同完成这一技术奇迹。