真空镀膜机扩散泵温度调多少合适

真空镀膜机扩散泵温度设置在150-200℃范围内最为理想。这个温度区间能有效去除泵内残留气体，提高真空度。实际操作中，环境温度会影响散热效率，夏季可适当降低10-15℃。泵体材质不同，耐温性能也有差异，不锈钢泵体可承受较高温度。使用过程中需监控泵体温度变化，避免温度波动超过20℃。定期检查加热元件老化情况，确保温度控制精准。

扩散泵温度与真空度直接相关，180℃时能达到最佳抽气效率。温度过低会导致蒸汽压不足，影响抽速；温度过高则增加能耗，缩短密封件寿命。实验数据显示，温度每降低10℃，抽气效率下降约15%。建议配备温度自动控制系统，保持稳定工作状态。镀膜前需预热30分钟，使泵体温度均匀分布。记录不同温度下的真空度曲线，找出设备最佳工作点。