真空镀膜维护是什么

真空镀膜维护是定期清洁镀膜设备内部腔体，确保镀膜均匀度和质量的关键工作。操作人员需每周清理腔体残留物，每3个月检查真空泵油位，每半年更换密封圈。维护还包括校准真空计，监测镀膜厚度传感器，保证镀膜参数稳定。清洁时使用专用无绒布和酒精，避免损伤精密部件。设备运行记录需每日更新，异常数据立即分析处理。

真空镀膜维护还包括环境控制与安全检查。工作车间温度保持在22±2℃，湿度控制在40%以下。每月检测接地电阻，防止静电损伤膜层。镀膜靶材使用满500小时后需重新打磨，延长使用寿命。操作人员必须佩戴防静电手环，避免人体电荷影响镀膜质量。设备运行前需确认冷却水流量达到规定值，防止过热损坏精密光学元件。